激光加工機器人是一種將機器人技術應用于激光加工的激光加法工業，在高精度工業機器人之后更加靈活。該系統可以通過教學設備在線操作，也可以離線編程。對加工工件進行主動檢測后，生成工件模型，生成加工曲線，并利用CAD數據直接對工件進行加工。可用于工件的激光表面處理、鉆孔、焊接及模具校正。

關鍵技能包括：

主要研究結果如下：(1)激光加工機器人的結構優化規劃技巧如下：在增加操作計劃的同時，選擇了大型規劃框架體結構，以保證機器人的精度；

(2)機器人系統的誤差補償技巧：根據集成加工機器人工作空間大、精度高的要求，結合其結構特點，選擇了非模型法與模型法相結合的混合機器人補償方法，完成了多參數誤差和非多參數誤差的補償。

(3)高精度機器人檢測技術：將三坐標測量技術與機器人技術相結合，完成機器人高精度在線測量。

(4)激光加工機器人的特殊語音完成技術：根據激光加工和機器人操作的特點，完成激光加工機器人的專用語音。

網絡通信和離線編程技巧：具有串口、CAN等網絡通信功能，完成機器人生產線的監控和處理；由上位機完成機器人離線編程控制。
真空機器人

真空機器人是一種工作在真空環境中的機器人，主要用于半導體工業，完成了硅片在真空腔中的傳輸。真空機械手具有進口難、裝訂困難、用量大、通用性強等特點，已成為半導體整機研發和整機產品競爭力的關鍵部分。而國外采購商嚴格檢查我國，屬于禁運產品目錄，真空機械手已成為我國半導體設備設備生產中嚴重的卡頸問題。直接驅動真空機器人的技術來源于原有的創新技術。

關鍵技能包括：

主要成果如下：(1)真空機器人新的結構規劃技巧：通過結構分析和優化規劃，避免世界專利，規劃新的結構以滿足真空機器人剛度和彈性比的要求；

(2)大空位真空直接驅動電機的技術：觸控大空位真空直驅電機和高清潔直驅電機開路電機的理論分析、結構規劃、制造工藝、電機數據外觀處理、低速高轉矩控制、小多軸驅動器等。

(3)真空環境下多軸精密軸系的規劃，選擇軸內軸的規劃方法，以減少軸與慣性不對稱的不一致。

(4)動態軌道修正技術：將傳感器信息與機器人運動信息融合后，檢測晶片與手指之間參考方位的偏移，并動態修改移動軌道，以確保機器人從真空室的一個站準確地將晶片傳送到另一個位置。

(5)符合半規范的真空機器人語音：根據真空機器人轉移的要求、機器人的操作特點和半規范，完成了真空機器人語音。

可靠性系統工程技能：在集成電路生產中，設備缺陷會造成巨大損失。根據半導體設備對MCBF的高要求，對各部件的可靠性進行檢查、評價和操作，對機械手的各個部件的可靠性進行測試，從而使機械手滿足IC生產的高要求。